爐體尺寸

φ800*H500

有效空間

φ450*H350

工件最大直徑x數(shù)量

φ150*8pcs

濺射陰極

1HCD+4ARC

工作電壓/頻率

380v 50Hz

實際功率

30KW

應(yīng)用技術(shù)

HCD+ARC

靶材數(shù)量

4 pcs

極限壓力

5*10^-4Pa

漏率

<10-3Pa.L/s

涂層

顏色

納米硬度（HV0.05）

摩擦系數(shù)

涂層厚度um

最高使用溫度℃

結(jié)構(gòu)

主要特點

應(yīng)用

TiN

金黃色

2400

0.40

1-4

500

單層膜

通用的硬質(zhì)涂層

主要用于車削、銑削、鉆削及齒

輪類刀具的耐用涂層和成型、

注塑模的防粘連，提高潤滑性

及耐磨保護涂層。

CrN

銀灰色

2000

0.40

1-4

700

單層膜

通用的耐腐蝕膜層，低粘附傾向

具有良好的抗粘結(jié)性，抗腐蝕性，

耐磨性。幾乎適合加工所有材料，

包括高硅鋁、不銹鋼、高鎳合金、

鈦和復(fù)合材料、注塑模具、 零件、

橡膠模具、硅膠模具、半導(dǎo)體封裝模具等。

TiCN

藍灰色

3000

0.20

1-4

400

梯度復(fù)合膜

低摩擦系數(shù)，高硬度

在TiN基礎(chǔ)上，提高了涂層的硬度、

并降低摩擦系數(shù)， 主要用于高速鋼刀具、沖壓模具、成型模具。

TiAlN

紫紅色

3500

0.40

1-4

850

單層復(fù)合膜

通用的硬質(zhì)抗氧化涂層

紅硬性良好，表面光潔度高，可用

于高速加工。適合模具鋼、

HSS、硬質(zhì)合金工具（加工材料

硬度低于HRC45）、薄壁件沖壓

模具。

AlTiN

紫黑色

3800

0.45

1-4

900

多層復(fù)合膜

超高硬度，抗氧化

具有極高的微硬度，熱硬度。

適合于具有高熱應(yīng)力的工具涂層，

并具備良好的耐熱沖擊性，

有快速間斷切削應(yīng)用的優(yōu)先選擇。

廣泛用于硬質(zhì)合金工具（加工

材料硬度低于HRC45）、

壓鑄模具。